二手 MARCH PX-1000 #293647792 待售
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MARCH PX-1000是一种用于半导体制造的蚀刻/灰化设备。它是一种先进的等离子体蚀刻和剥离工具，专门设计用于快速蚀刻和去除金属、聚合物、氧化物等材料。MARCH PX 1000采用多种技术和优化的工艺参数,在保持高吞吐量的同时,达到高质量的效果。PX-1000将高密度等离子体蚀刻和物理剥离工艺集成到其蚀刻系统中,从而使材料的蚀刻具有比其他蚀刻系统更高的选择性。它还提供了对各种蚀刻参数的精确控制，以实现最佳的工艺控制和物料去除率。凭借其集成的计算机控制单元，PX 1000可以精确监控、测量、调整气体流量、压力、温度、压力比等工艺参数。MARCH PX-1000还提供了多种功能,包括功能强大的自动配方控制机、先进的实时端点检测工具以及有助于延长工艺室寿命的双级等离子体清洗功能。MARCH PX 1000采用多腔室和水槽设计,提供了最佳的灵活性和工艺稳定性.此外，其先进的真空资产保持了高质量的气氛，并允许一系列不同的真空水平。PX-1000非常适合各种应用,从薄金属和介电层的晶圆级蚀刻、薄膜金属升空和金属表面整形到厚金属的高长宽比蚀刻、金属去除和晶体管钝化。凭借其先进的蚀刻和剥离能力，PX 1000对于当今许多现代半导体制造工艺来说是非常有效和可靠的。
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