二手 MARCH PX-1000 #293701620 待售

MARCH PX-1000是一种用于加工大型基板的高可靠性蚀刻器/灰度设备。该系统非常适合生产平板显示器、太阳能电池、半导体和MEMS设备。蚀刻器/asher利用垂直板型腔室进行蚀刻和灰化处理。这样可以对尺寸不超过514mm的基板进行均匀的蚀刻和粉刷,并具有高度的可重复性。该单元最多配备四个独立的PM模块，为多种蚀刻和灰分配方提供必要的灵活性。MARCH PX 1000提供金属、多晶硅和硅沉积物的超低升华速率和高蚀刻选择性。用于蚀刻和灰化的等离子体源包括功率高达4kW的多频射频发生器。采用涡轮分子泵消除废气和产生的颗粒，这是工艺均匀性和良好蚀刻剖面所必需的。腔室有一个选择的基板级选项，如旋转或线性样品处理。提供专用基板加热器机，以维持基板温度最高可达250摄氏度。基板加热是基于时间的温度控制或作为加热区剖面.腔室内的温度均匀度± 3°C或更高。PX-1000还可以通过自动货车发射和集成蚀刻负载锁定系统等附加功能进行定制。PX 1000采用高热机械稳定性的零件和材料，设计方便安装维护。O2和N2气体引入和抗氧性等选项也可供选择。此蚀刻器/asher工具是生产应用程序的可靠主力,需要统一且可重复的蚀刻和灰化结果。