二手 MARCH PX-1000 #293711097 待售

MARCH PX-1000是一种先进的蚀刻和灰化设备，设计用于处理各种材料，包括各种半导体、陶瓷和其他基板。它为用户提供了精确可靠的蚀刻工艺，能够创建精确的图样、凹坑和沟槽，以及石墨、硅、铜等材料的精确灰化工艺。MARCH PX 1000具有先进的过程气体输送系统,包括微米滤波器、数字质量流控制器和分配歧管。这确保了过程气体的稳定和精确流动，从而产生精确的蚀刻结果。该蚀刻单元还具有先进的工艺控制功能，允许对包括腔室压力、射频功率、工艺气体比等重要蚀刻参数在内的所有蚀刻参数进行精确控制。机器装有自动温度控制模块，允许用户在蚀刻和灰化过程中进行精确的温度控制。这确保了对蚀刻深度和灰度质量的精确控制,同时消除了对材料表面的热损坏。再者，自动快门可以用来减少任何空气传播颗粒的流动，提高蚀刻表面的质量。PX-1000还具有高精度、全封闭的CO2激光工具，能够进行高速、高精度的蚀刻和灰化工艺。它可以以高达100 nm的精度进行蚀刻，也可用于干蚀刻和干灰处理。此外，它还具有双频射频线圈，允许单面和双面蚀刻工艺。先进的激光资产让用户实现高精度、高通量的成绩。该模型通过用户友好的触摸屏界面进行控制,用户可以快速设置和控制蚀刻和灰化过程。此外，它还配备了自动端点检测设备，在蚀刻或灰化过程结束时为用户提供详细报告。本报告可用于进一步审查和分析蚀刻或灰化工艺的质量。为进一步提升安全性，PX 1000蚀刻和ashing系统设有紧急停止按钮，一旦启动便自动停止任何蚀刻或ashing过程。此外,整个蚀刻器还提供了一个高级警报单元,当任何进程参数偏离设置值时,该单元都会通知用户。这些功能为机器提供了更好的安全性和可靠的操作。