二手 MARCH PX-1000 #293765898 待售

MARCH PX-1000
ID: 293765898
晶圆大小: 12"
Plasma asher, 12".
MARCH PX-1000是一款功能强大且可靠的蚀刻器/asher,专为各种半导体材料的精密处理而设计。它是一种先进的蚀刻和灰化设备,能够承受高温和等离子体过程。MARCH PX 1000具有一个专利双面蚀刻和灰化室,容量可达8.9升。这种蚀刻和灰化系统提供了1.5 μ m的极其精确的蚀刻和灰化分辨率,非常适合处理各种薄层。PX-1000配备了广泛的可调参数,包括温度、压力、压力控制和射频功率,以优化蚀刻轮廓以及蚀刻和灰化结果的重复性。此外,它还具有分辨率为0.1°C的高精度温度控制单元,为每个应用程序提供精确的温度控制。该机还具有先进的过程控制界面,以提供一致和安全的操作。此外,由于其先进的安全功能,PX 1000提供了可靠的工艺安全。它配有压力和温度传感器,以确保过程安全,并且可以配有惰性气体净化工具,以保护制造的材料免受氧气和其他环境污染物的影响。此外,该资产还具有高压放电机构以精确控制腔内压力,气体流量低以避免干燥蚀刻不足。高性能的MARCH PX-1000物有所值。它小巧轻巧,可以轻松集成到任何生产型号中。而且设备精度高、可重复,为多种应用提供一致可靠的结果。因此,MARCH PX 1000实现了适合大多数生产环境的高端精密蚀刻和灰化效果。
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