二手 MARCH PX-1000 #293777657 待售

MARCH PX-1000是一款先进的蚀刻器/asher,旨在满足台式研究和大量生产用户的需求。它配备了高度精确和精密的等离子体控制设备，以提供对等离子体蚀刻过程的最佳控制。MARCH PX 1000具有较高的通量,并配有独立的电极和可同时容纳多种基板和尺寸的多区板。此外,PX-1000提供了极好的重复性,提供完全相同的等离子体蚀刻结果.PX 1000具有数字气体阀，该阀可用于控制气体浓度和压力的百分比。这允许精确控制诸如流速、压力、温度和蚀刻过程湿度等参数。MARCH PX-1000还通过具有外部电离源和脉冲模式功能来提供对蚀刻过程的额外控制,从而提供了灵活性和优异的工艺产量。MARCH PX 1000还配备了自动晶片处理机器人，能够与蚀刻系统集成，自动装卸晶片进行蚀刻。这样可以实现最大的流程吞吐量和PX-1000能力。此外,PX 1000还具有一个闭环反馈单元,该单元具有等离子体监控功能,并在满足所需标准时自动关闭,以及一个排气机,有助于保持环境清洁和安全。MARCH PX-1000还具有基于Windows样式图形用户界面的直观用户界面和广泛的诊断功能,可帮助进行故障排除和优化蚀刻过程。此外,MARCH PX 1000可以轻松连接到本地PC,以便存储、检索和管理蚀刻过程数据和参数。综上所述，PX-1000为等离子体蚀刻工艺提供了极好的精确度和控制，具有适应研究和生产需要的灵活性。自动晶片加载和卸载、广泛的诊断功能、直观的图形用户界面和闭环反馈工具使PX 1000成为满足您所有蚀刻需求的理想选择。