二手 MARCH PX-1000 #9021103 待售

MARCH PX-1000是一种用于制造微电子器件的蚀刻器/asher。它是一种全自动设备，能够使用高温等离子体工艺蚀刻、制图和清洁基板。它配备了一系列特性和功能，使其成为蚀刻和去除基板上不需要的材料的理想工具。MARCH PX 1000的核心采用高温等离子体蚀刻器，创造出一个非常适合微电子器件精密蚀刻的惰性环境。该系统配备了多条可互换的气线和气源，允许一系列基板材料兼容性和腔室压力从0.13 mtor到500 millitor不等。此外，该装置具有每晶圆约45至60秒的快速循环时间，使其能够以节省时间的方式快速蚀刻和去除基板上不需要的材料。PX-1000还具有易于使用的图形用户界面（GUI）,允许用户轻松访问和控制其所有功能。它配备了一套功能,例如高级流程配方编辑和归档、高级传输/加载规划以及实时监控,可为用户提供对每个流程步骤的全面控制和灵活性。此外，该机还配备了革命性的数字微波等离子体发生器，其设计目的是显着提高处理速度，同时提供精确的优化蚀刻结果和极其精确的重复性。PX 1000还被设计为超过半导体和相关行业严格的环境安全要求的要求。凭借其众多的安全特性、对工具的全面了解以及先进的工程，MARCH PX-1000能够满足任何微电子器件制造应用的需要。总之，MARCH PX 1000是一种先进的全自动高温等离子体蚀刻器/asher资产，非常适合微电子器件的制造应用。PX-1000具备多种特性和功能,能够以快速的循环时间和精确的重复性,以及操作人员友好的可用性和先进的安全标准对基板进行蚀刻和清洁。