二手 MARCH PX-1000 #9094923 待售

MARCH PX-1000是一种高性能的蚀刻器/asher设备，其先进的等离子体工艺技术能够可靠地提供卓越的效果。MARCH PX 1000具有集成的蚀刻、灰化和薄膜沉积功能,是研发、半导体、MEMS和电子制造中更具挑战性的应用的理想选择。PX-1000蚀刻器/灰化器能够蚀刻各种材料，包括金属、陶瓷、聚合物以及其他难以蚀刻和难以清洁的基材。该系统的最大蚀刻速率高达0.5 μ m/min,蚀刻图样分辨率降至1 μ m,在高吞吐量时可提供非常精细和精确的结果。PX 1000还配备了先进的等离子体单元，能够在广泛的蚀刻和灰化应用中产生氧化或类似CVD的等离子体。MARCH PX-1000还提供了更大的过程控制，因为它配备了一个集成的数字控制机器，可以监控蚀刻过程并根据需要调整等离子体参数。这允许操作员根据特定的应用程序要求自定义其蚀刻和灰化配方。此外，MARCH PX 1000与原位诊断兼容，允许操作员实时监控过程，以确保正确彻底的蚀刻和灰化。除了其卓越的蚀刻和灰化能力外，PX-1000还配备了内置的薄膜沉积能力。此功能允许用户将一个或多个所需厚度的薄膜沉积到晶片目标上。这对于涉及新型材料研究的应用或创建功能性涂层或设备特别有用,使PX 1000成为广泛的研究和制造应用的通用且功能强大的平台。综上所述，MARCH PX-1000 蚀刻器/asher工具是一种强大而可靠的工具，用于各种蚀刻和灰化应用以及薄膜沉积过程。MARCH PX 1000凭借其先进的等离子体技术、精密的数字控制资产和集成的薄膜沉积能力,在广泛的研究和制造应用中为高性能蚀刻和灰化提供了高效、高效、精确的平台。