二手 MARCH PX-1000 #9100080 待售

MARCH PX-1000 Asher/Etcher是一种10级洁净室兼容、高产量、全自动的设备，用于半导体晶片的灰化（去除有机材料）和蚀刻（去除金属材料）。MARCH PX 1000设计用于清洁晶片,使其可用于进一步制造步骤。PX-1000为先进的半导体器件制造提供了最高的吞吐量和最干净的处理。PX 1000独特的腔室设计将晶片作为一批旋转，将化学物质均匀地分散在晶片表面，从而确保均匀的均匀蚀刻和灰化结果。MARCH PX-1000提供了在+-2°C范围内的温度控制，以解释加工变化，而其经过验证的流量控制确保化学物质甚至沉积在晶圆上。MARCH PX 1000配备了一个载波载荷端口，确保了洁净室的兼容性，同时还允许用户一次加载多达八个盒式磁带，大大提高了系统的吞吐量。此外,设备还配有晶片感应开关,该开关在启动过程序列之前检测晶片的存在,并在蚀刻/灰化过程中监视电源和温度设置,以确保获得最佳效果。PX-1000还配备了先进的精确计时机制和精密的软件包,可确保对蚀刻/ashing过程进行准确监控,从而实现快速、轻松的设置。PX 1000提供精确的温度控制,可对其进行微调以增强蚀刻/灰度处理,并在获得最大蚀刻/灰度次数后自动关闭该过程。最后，MARCH PX-1000 Asher/Etcher配备了多种安全功能，包括一个空中冷却机，确保该工具即使在使用易燃或可燃材料时也能安全使用。此资产还提供了灵活的自动化选项,以适应一系列分析需求,从而方便地根据用户的特定需求定制模型。