二手 MARCH PX-1000 #9111369 待售
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ID: 9111369
Plasma cleaner
(1) set of Power and Ground Shelves
All standard system features
(2) MFC Controllers
Options available:
1000 Watt ACG10B RF Generator
Additional Shelf Sets
Additional MFC Controllers
Vacuum pumps for Oxygen service
Hydrocarbon pumps for non- Oxygen Plasma processes
Vertical door system.
MARCH PX-1000是一种精密的蚀刻器/asher,非常适合大规模的晶圆制造和半导体制造。它是快速高效地创建精确、高质量结果的完美工具。MARCH PX 1000具有"积极进取"的蚀刻能力,使工具能够以惊人的速度和精确度在金属和硅基板上进行蚀刻。蚀刻面积宽敞1000 x 600mm,使其能够一次性蚀刻大量基材。蚀刻由强大的三相直流电动机提供动力,可以调整以提供所需的精度。该蚀刻器配备了几种安全功能,可确保操作员在工作时的安全。它包括在安全门打开时禁用电源的互锁系统和在激活时立即关闭设备的E-Stop。它还包括一个冷却系统,保持温度水平,防止组件变得太热和风险损坏他们。在控制方面,PX-1000非常方便用户。它在触摸屏上操作,方便地显示所有必要的设置并访问各种设置,从而使用户能够针对各种蚀刻任务调整参数。该单元还预先编程了一组蚀刻配方,使操作更加简单。此外,PX 1000还配有内置微处理器,使用户能够监控蚀刻进度、跟踪基板参数(即温度、压力和湿度)以及记录蚀刻数据,以便记录其结果并进行所需的任何调整。总之,MARCH PX-1000是晶圆制造和半导体制造的理想工具,它以安全和方便用户的方式提供高达1000 x 600mm的高效、精密蚀刻。用户友好的界面进一步得到了微处理器的补充,该微处理器提供了详细的监控和文档功能,使其成为功能强大且用途广泛的蚀刻器。
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