二手 MARCH PX-1000 #9156371 待售
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ID: 9156371
Plasma asher
RFX600 RF Generator - 600 watts
(1) Power and ground shelves
(2) MFC Controllers
ACG10B RF Generator: 1000 Watt.
MARCH PX-1000是一种蚀刻器/asher,用于蚀刻和清除来自硅、塑料、玻璃、金属等不同材料的基板。它能够以高精度蚀刻小至5微米的特性。MARCH PX 1000具有可容纳20 x 20英寸面积的真空室。腔室温度控制,提供良好的工艺控制。PX-1000利用射频电源,当材料暴露于电源中时,它用于生成等离子体环境。等离子体环境允许在工业层面有效地处理蚀刻和灰化作业。PX 1000具有易于使用的用户友好界面,可用于调整工艺温度、压力、功率水平等参数。它与蚀刻和灰化过程中使用的大部分气体兼容。它还有一个强大的安全控制系统,有几个联锁,以确保操作的安全。MARCH PX-1000利用多重气体管理系统,允许同时使用几种不同的气体,使其能够处理复杂的蚀刻和灰化作业。MARCH PX 1000配备了自动加载功能,可以让多批材料快速轻松地加载。它还有一个排气系统,能够管理腔室的特殊排气需求,从而减少任何有害的排放。PX-1000具有多种可选功能,包括长期蚀刻控制,可以监控和控制蚀刻操作的持续时间,以达到最佳生产效率。综上所述,PX 1000是一款极其可靠且用途广泛的蚀刻/asher基板处理器。它具有小至5微米的蚀刻特性,是工业生产元件的绝佳选择。MARCH PX-1000配备了多种安全功能和控制选项,使其成为蚀刻和ashing作业的可靠高效选项。
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