二手 MARCH PX-1000E8 #9083266 待售

MARCH PX-1000E8是为高精度蚀刻和灰化程序而设计的先进蚀刻/灰化设备。它是为满足半导体制造作业的苛刻要求而设计的，具有优异的蚀刻和灰分均匀性，具有高产率和器件生产可靠性。MARCH PX 1000E8采用先进的真空和等离子体工艺相结合，提供了无与伦比的化学选择性、通量和均匀性。随着先进的VCVD工艺、温度控制气体幕以及与外部设备的数字通信等技术的进步,PX-1000 E8能够实现前所未有的蚀刻速率,同时始终提供高质量的表面。MARCH PX-1000 E8具有易于使用的10.4英寸触摸屏界面,具有直观的图形用户界面,使用户可以轻松快速地为每个蚀刻过程创建配方。MARCH PX 1000 E 8强大的软件和尖端硬件为用户提供了流程灵活性、可扩展性和改进的流程性能。该系统还提供一个可选的额外真空泵，为制造商提供完整的蚀刻和灰分溶液。该单元还配备了两个腔室尺寸（16"和25"），让用户根据蚀刻需求灵活配置蚀刻腔室。最大的腔室尺寸为高晶圆产量提供了更多的多功能性，而16英寸的腔室则支持较小的足迹处理。腔室高度1.2 m，最多可将600个晶圆装入机器，从而实现高通量生产。PX 1000E8提供了一个方便的废物处理工具，具有自动废物收集和收集袋。废物收集袋可以从资产正面分离出来，而不会中断蚀刻或灰化过程。这样便于处理蚀刻残留物，以确保周围环境的清洁和安全。为了保证可靠性和产品监控，PX-1000E8还配备了两个摄像头，在蚀刻和灰化过程中提供实时现场质量保证。此外，该模型可以使用远程监控设备操作，允许用户安全地访问系统，而不必出现。PX 1000 E 8是一种用于高精度蚀刻和灰化过程的卓越蚀刻/灰化装置,为半导体制造操作提供卓越的性能和可靠性。凭借其先进的VCVD工艺、温控气体窗帘、与外部设备的数字通信、直观的图形用户界面以及便捷的废弃物处理机,MARCH PX-1000E8为实现可靠的设备产量和卓越的设备质量提供了巨大的可扩展性和灵活性。