二手 MARCH PX-1000E8 #9145023 待售

MARCH PX-1000E8是第四代蚀刻器/asher。它是一种可靠、精密的设备,能够提供卓越的蚀刻和灰化质量和性能.适用于半导体行业的广泛应用，包括硅、III-V材料的蚀刻和灰化，以及微电子互连。MARCH PX 1000E8具有强大、低压、超纯、化学蚀刻和灰化系统。该装置具有集成的高温电阻蚀刻和灰化室、高分辨率、低噪声光学显微镜、用于装载和卸载基板的多个端口、无需操作员干预的装载基板的自动加载机制以及便于编程过程参数的自动化控制接口。PX-1000 E8设计用于提供均匀、可控的蚀刻和灰化,同时确保化学试剂的污染和稀释最小。它配有顶层镜面涂层，减少化学吸收，促进地下抗蚀刻、灰化等过程的均匀性。它包括可调节的工艺参数（如温度、流速和压力）以及面包房功能,允许用户快速、精确地调整和优化其工艺。MARCH PX-1000 E8还包括先进的安全功能，包括自动安全关闭、气体屏蔽以及内部压力和温度传感器。此功能可确保机器始终在安全参数范围内运行,并防止腐蚀和灰化室过早损坏。除了蚀刻和灰化，PX 1000E8可用于增强沉积，抗剥离和窄带涂层。该工具的高级控制界面和自动加载机制相结合，提供了复杂蚀刻和灰化过程的无缝自动化。MARCH PX 1000 E 8是一款高效可靠的蚀刻/灰化工具，适用于需要高性能工艺的半导体制造商。其先进的功能和强大的安全系统确保资产以最高效率运行,并始终提供卓越的效果。