二手 MARCH PX-250 #9155556 待售
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ID: 9155556
Plasma etcher
Controlled environmental vacuum chamber
Used for PR descum and oxygen plasma treatment
Power supply: 115/200 - 230 V, Single Phase, 60/50 Hz.
MARCH PX-250是一种高性能的蚀刻器/灰化器，旨在为实验室样品和工业零件提供精确的蚀刻和灰化能力。该设备能够处理基材和膜基样品，并在一个单元中提供最多三个独立的蚀刻/灰分功能。MARCH PX 250非常适合各种材料，如玻璃、硅、III-V化合物、软氧化物材料、聚合物和半导体。PX-250具有两个带有独立电源的蚀刻/灰室。每个腔室都装有一个射频源，最多可提供20瓦功率，并有一个ICP源，最多可提供200瓦功率。ICP源还提供了卓越的控制和精度,可同时支持射频和直流电源,从而在蚀刻/灰烬工艺中产生精确的蚀刻尺寸和一致性。PX 250蚀刻/灰化室顶部还具有两个独立的石英储罐，专门设计用于支持蚀刻和灰化工艺。这两个坦克都装有独立的排气口，能够处理各种材料和协议。MARCH PX-250提供了多种高级功能,以帮助确保可靠和可重复的过程结果。该系统包括一个压力控制器和一个精确温度控制器，用于监测和维持蚀刻室和灰室的温度水平。MARCH PX 250还具有现场发射显示功能,可对压力、时间和温度参数进行编程和控制。该单元包括一个气体供应连接，可以很容易地连接到氦气、氧气或氮气的来源，从而实现整个过程的灵活性和控制。PX-250专为易于使用而设计,可快速配置以满足特定的蚀刻/灰烬要求。该机器支持各种蚀刻和灰分协议,包括定时蚀刻、步进蚀刻和批量蚀刻。此外,PX 250蚀刻/灰化工具还包括一个USB端口（可轻松进行软件更新）和一个MET/CAL校准包（可快速准确地验证过程参数）。总的来说,MARCH PX-250是一个高级蚀刻器/asher,在单个单元中提供精确和灵活性。凭借其强大的能力和直截了当的设计，资产是需要精密蚀刻和灰化的广泛科学和工业应用的绝佳选择。
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