二手 MARCH PX-250 #9156391 待售
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ID: 9156391
Plasma etcher
(3) Shelf configuration
Dual flow raters for gas
300 or 600 Watt RF Generator.
MARCH PX-250是一种蚀刻机设备,其设计目的是在从工业到医疗的各种应用中提供先进的干燥处理能力。这种高效和具有成本效益的工具使用四种不同的工艺技术在各种基板上创建精确和一致的轮廓,以取得预期的结果。该系统采用高科技组件,包括电源、电阻加热器、真空室以及两个集成的蚀刻和灰烬室,以提供出色的操作和性能。MARCH PX 250的主要特点是其高阶段蚀刻和asher性能。该装置采用电阻加热器和紧密耦合的高功率真空室,以确保蚀刻室内的温度保持一致,并且对于蚀刻和灰化过程是安全的。此外,该机器还具有自我调节功能,包括局部控制功能,允许用户调整诸如温度、气流、压力以及沉积周期等参数。此外,整个工具由计算机辅助程序控制,以确保每一次蚀刻和asher过程安全和适当地完成。资产还包括两个独立的蚀刻室和asher室。每个腔室采用不同的工艺技术,使操作者能够控制蚀刻气体和灰烬气体的浓度。腔室分开的加热元件也有助于确保在整个过程中保持正确的气体轮廓。此外,该腔室还包括一个远程等离子体蚀刻器,以提供纳米精密蚀刻。蚀刻器还会在每个周期产生一个中频脉冲,使操作员能够微调过程以获得更好的结果。PX-250提供了多种其他功能,以提高流程效率。它的自动气体洗涤器在进入腔室之前清除了过程气体,允许更清洁的蚀刻和灰化过程。此外,该模型的气体控制机制能够精确控制压力,而其先进的大气调节提高了过程的稳定性。最后,PX 250可以与额外的物料处理系统,如晶片批装载机或晶片单装载机结合使用,以实现简化的干处理任务。总之,MARCH PX-250是一种高性能干式加工工具,提供高级蚀刻和灰烬处理功能。这种蚀刻机设备可以采用四种不同的工艺技术,在各种基板上实现精度,并具有可调参数,从而使用户能够获得所需的结果。此外,该系统还包括两个独立加热的蚀刻和灰化室,一个自动气体洗涤器和一个远程等离子体蚀刻器,以提供纳米精密蚀刻。
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