二手 MARCH PX-250 #9233379 待售

MARCH PX-250是一种精密蚀刻器/asher,在要求苛刻的工业应用中为可靠且可重复的性能而设计。它采用坚固的三区热墙设计，确保了卓越的蚀刻效果。MARCH PX 250设有高温炉，每区四种不同的加热元件。炉的温度范围从环境到1000 °C，加热元件可以达到高达1100 °C的温度。另外，蚀刻器具有可编程的峰值温度速率，可以精确控制加热速率。集成的PLC控制系统允许用户对精确参数进行编程，以确保可重复性。PX-250还配有高分辨率CCD摄像头，可精确对准基板。相机可以设置为中心加权对准或边缘加权对准。基材再在高温炉下运输蚀刻。工艺室内的压力由压力调节器调节，确保精确的蚀刻环境。PX 250的先进设计还采用了集成过程气体输送系统，可选的次大气压力低至-600毫巴。各种工艺气体可根据要求送入工艺室内，用于不同基材的蚀刻。还包括一个气体排气系统，可用于去除蚀刻机中的有害副产品。MARCH PX-250设计用于低热勘探的精确蚀刻结果。其坚固的结构和集成的高级功能使其非常适合太阳能电池制造、PCB加工和半导体器件制造等广泛的工业应用。其精确度和可重复性使其在这些行业受到制造商的高度追捧。