二手 MARCH PX-500 #194996 待售

MARCH PX-500是一个蚀刻器/asher，设计来处理各种蚀刻和ashing操作。这种装置可以加工铝、不锈钢和选择具有多种薄膜类型的复合材料，如光刻胶、屏蔽和保护膜。MARCH PX 500具有一个大的加热处理室,可支持从小硬币尺寸到大阵列尺寸的多个面板尺寸。上部面板传输设备设计用于将产品往返于加热的加工室。该系统包括提升销、电机和皮带馈线,以确保面板对准精度。该腔室加压时使用的是氙气或氮气，以确保均匀的蚀刻和灰化。PX-500还拥有一个高功率的蚀刻装置，它允许非常精细的蚀刻分辨率，下降到1微米。Ashing machine is highly configurated,允许快速热Ashing以及射频Ashing。这两种工艺都是为了达到尽可能高的晶圆清洁度而设计的。PX 500使用了强大、高精度的运动工具来精确定位蚀刻头，以及金属屏蔽面罩和烧蚀面罩到精确的部位，这导致零件的非常精确的蚀刻和灰化。MARCH PX-500还具有功能强大的16位微处理器,可控制蚀刻和灰化的各个方面。这包括直观的触摸屏界面、配方编程和全面的自动化。MARCH PX 500还具有内置诊断功能,使维护和维护更加轻松高效,确保最大正常运行时间。PX-500结构坚固,并有1年保修作为后盾。它是一种可靠、高效的蚀刻器/asher,非常适合各种生产应用。