二手 MARCH PX-500 #9176784 待售

ID: 9176784
Plasma asher Missing part: RF Cable.
MARCH PX-500是一个高度先进的蚀刻器/asher专门处理大面积高精度。由于其强大的激光设备,该系统能够高吞吐量的精密图样。该单元采用脉宽和脉冲重复频率分别为10 μ s和50 kHz的激光二极管,可提供可变激光功率设置。它还拥有高效的加热机和多区温度控制器。这样就可以调节蚀刻/灰化过程的速度,从而提高过程的可重复性。MARCH PX 500具有500 x 500 mm的大处理区域,并提供非常均匀的蚀刻深度。在1/8步设置时,它还具有5 μ m的高分辨率。该工具支持广泛的材料,包括Si、玻璃、金属、ITO、金刚石和其他常见基板。它同样适用于区域评价和比较方桉进程。此外,它的大型装载托盘和自动化处理系统使其在批量生产中效率很高。PX-500随附最新的PX软件包,提供图形化的用户友好界面和强大的模式编辑功能。它还支持各种数据输入接口,例如GDSII和CAD,它允许直接和轻松地阅读和编辑这些接口。对于更复杂的过程,有了自动参数优化(APO)技术。PX 500由英特尔酷睿i5处理器驱动,可提供高计算速度。此外,MARCH PX-500还配备了各种人性化的安全功能,如腔室集成激光安全快门和眼部保护。为了更好地访问,该资产采用氮气外壳和方便的诊断工具(如剖面仪和反射率测量)进行设计。而且,公司提供的售后支持确保反应迅速准确。总而言之,MARCH PX 500 蚀刻器/asher是一款高度先进、用户友好的机型,适用于大面积的高精度图桉。对于需要高吞吐量和低材料损失率的工艺来说,这是一个理想的选择。
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