二手 MARCH Super Plasmod #9089873 待售

MARCH Super Plasmod是一款蚀刻器和灰化器,旨在为各种应用程序提供精确的蚀刻和灰化。它是一种多合一的蚀刻和灰化设备，能够提供快速的循环时间，可扩展的工作场所，以及各种各样的工艺配方。Super Plasmod宽敞的石英热区保证了一致的工艺结果,温度控制精度在2°C以内。它还具有变频等离子体发生器，允许用户根据应用方便地调整等离子体频率。MARCH Super Plasmod的双气体输送系统为每个化学蚀刻工艺流程提供各种前体气体和惰性气体，并控制气体压力、总气流、反应气流和气体平衡。该单元还采用专门设计的淋浴头，在目标基板上提供均匀的前体输送。该机还设有内置工艺监控器，记录总气压、总气流和基板偏置电压，帮助用户获得最佳蚀刻效果。Super Plasmod还配备了用于监控蚀刻和灰化过程的全尺寸视口，以及用于减少污染的双真空工具。它还具有自动清洗资产，以确保蚀刻室永远不会暴露于外部电源。MARCH Super Plasmod具有多种安全机制，包括运动探测器、闭环水再循环模型和紧急关闭开关。此外，该设备还具有各种用户友好的功能，如逐步操作指令和多语言操作。为了确保用户每次都能得到一致的结果，Super Plasmod拥有可调节的参数分隔符，允许用户输入和保存不同配方的不同参数。MARCH Super Plasmod是先进的蚀刻和灰化系统，非常适合工业和学术应用。它具有精确、精确控制蚀刻和灰化过程所需的所有参数的功能,并配备了先进的安全功能和用户友好的设计功能。