二手 MATRIX 105 #188833 待售

MATRIX 105是一款设计用于制造业领域的高精度蚀刻器和asher。它非常适合先进的原型设计、小批量生产和高复杂性零件的生产。105提供自动化的装卸功能,以及优越的离子能和光束均匀性,在较大的区域内实现均匀的深度。MATRIX 105利用具有可编程电网电压的射频感应等离子体源,可以精确调整以满足客户的需求。其可调工艺参数在蚀刻和灰化工艺中提供了更高的工艺稳定性和更高的精度。多语言用户界面使机器操作方便，并且包括直观的用户友好图形用户界面。该机适用于各种蚀刻和灰化应用，包括DRAM门蚀刻、晶圆抛光和蚀刻孔工艺。105配备了可提供出色运动控制和精度的旋转索引器和线性同步电动机。该工件通过两件式夹具牢固固定到位，无需使用笨重的微操纵器，进一步提高了重复稳定性，减少了蚀刻室加载时间。它还配备了一系列保护系统，以确保安全并保持长期的操作可靠性。MATRIX 105可与多种蚀刻气体如氯气、氧气和氧气结合使用，具有离子能量、离子轰击表面温度、蚀刻速率均匀性、可重复性等一系列参数。可以根据要求调整工艺参数，以实现最高质量的精细控制。与玻璃、陶瓷、聚合物、金属等多种基材兼容。总体而言,105是高级蚀刻/灰化应用程序的绝佳选择。可调的工艺参数和自动化的装卸特性使得这种蚀刻器和asher成为精确、高质量的结果的理想选择。它使制造商能够减少开销和提高效率,从而实现更明智的业务决策和更快的生产周期。