二手 MATRIX 105 #9032614 待售

MATRIX 105 蚀刻器/asher是一种高度先进的化学蚀刻和灰化设备，用于半导体制造和其他微电子应用。它采用湿法化学蚀刻的精确度，并与干法蚀刻工艺的加工速度相结合。该系统采用超高真空处理室，最多六个真空端口和一个负载锁定单元。这使得惰性、反应性、干燥和潮湿的过程能够高效和清洁地进行。在蚀刻室内，使用先进的机器人机器来管理蚀刻过程。该机器人被编程为以可变速率精确地移动晶片、基板和其他蚀刻元件，以获得最佳蚀刻质量。这提供了在均匀深度和沿蚀刻轮廓清洁的高蚀刻速率。105设计用于同时运行ashing和重度蚀刻过程。灰化是一个过程，其中多晶硅的非导电层，如氧化物，从表面除去。灰化是准备表面作进一步处理所必需的。重度蚀刻用于在晶圆、基材和其他材料中创建图样和形状。利用脉冲模式蚀刻，该工具可以精确控制蚀刻深度和完整性，从而实现最高效、最精确的蚀刻过程。MATRIX 105还具有冷壁特性，有助于减少颗粒污染，提高蚀刻均匀性。冷壁降低了腔室内的热量水平，从而降低了热效应，提高了轮廓均匀性。此外,对于关键蚀刻过程,可以启用和监控气流端点检测（GFED）,以确保精确的蚀刻端点。最后，全套控制和测量能力使105成为同类系统中最先进的系统之一。它具有易于使用的过程监视器,可以检测和记录过程参数,如压力、温度、电压和电流。然后可以存储和分析这些数据,以确保每个蚀刻和灰化应用程序都能获得最佳结果。