二手 MATRIX 106 #9144783 待售

MATRIX 106
製造商
MATRIX
模型
106
ID: 9144783
晶圆大小: 6"
Resist asher, 6".
MATRIX 106是一款功能强大且可靠的蚀刻器/asher。它是专门为提供精确可靠的蚀刻和灰化工艺而设计的,利用高温、1000°C的全陶瓷反应管。反应管具有均匀的温度曲线,并由850°C至1000°C之间的管状灯持续加热。此外,还可以设置冷却和再加热周期,并控制微处理器。反应室设计为圆柱形和中轴,用于向下蚀刻到基材中。该腔室还设计用于确保根据蚀刻和灰化工艺的性质在整个基板上实现均匀的温度和最佳的蚀刻速率。106还设有一个带有强制空气冷却剂的冷却系统,以确保反应管保持在均匀的温度,并且温度分布一致。此外,内置变速泵,可调节冷却风扇,调节反应管的速度和温度。全陶瓷反应管内部涂有氧化铝进行化学蚀刻,或二氧化硅用于各种材料和基材的灰化工艺。MATRIX 106的用户界面相当容易使用。它包括一个液晶屏,用于设置时间和温度以及监视过程。此外,还提供了一组物理开关和按钮来控制系统的过程和安全特性。所有这些控件都方便地位于机器的前部,这样用户就可以用最少的训练轻松操作它。106还包括安全操作的一系列安全功能。有一个压力开关来检测反应管中的过量压力,同时提供一个阀门来控制或阻挡任何潜在的泄漏。其他功能包括压力继电器和紧急电源开关,用于控制对电源的访问并在出现紧急情况时立即关闭。总体而言,MATRIX 106是一款可靠且功能强大的蚀刻器/asher。其先进的特性和安全特性使其成为各种材料和基材的蚀刻和灰化工艺的理想选择。
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