二手 MATRIX 302 #293811877 待售

MATRIX 302 蚀刻器/asher是设计用于半导体制造的高性能青铜蚀刻器和asher。它具有多种功能,可确保最大吞吐量和过程完整性。302采用压铸铝制成的重型车架，提供刚性和耐用性。它采用模块化概念设计,可提供多种解决方桉。利用较大的工作区,MATRIX 302可以容纳最大7.5英寸（194毫米）、最大20.4磅（9.2千克）的各种基材。蚀刻器采用集成冷却系统控制温度,该系统有助于在整个工作区域保持一致的温度,从而提供过程稳定性。其PCL操作控制器为用户提供了调节许多工艺参数的能力，包括温度、压力、蚀刻时间和气流；这种控制和灵活性的结合使用户能够同时运行多个进程。该蚀刻器具有独特的多喷嘴隔离功能，通过降低交叉饱和度来提高均匀性，同时多喷嘴可用于各种蚀刻速率。为确保过程安全，所有气体输入都通过质量流控制器进行布线，该控制器可提供多达八种气体的稳定、一致的流量。302的大室设计为快速疏散，以高效的过程周转。它还提供架空照明，使基板加载和过程开发的监测更加容易。该蚀刻器是为相对易于使用和操作而设计的。它配备了触摸屏控制和监控系统，使用户能够快速安全地设置流程。该系统还允许远程故障排除和过程监视,并包括在意外进程中断时的关机保护。MATRIX 302蚀刻器专为高容量作业的快速周转而设计。它提供了通用的配置和较低的维护成本,确保了可靠的操作和较长的生命周期性能。