二手 MATRIX 303 #9396142 待售

MATRIX 303是牛津仪器公司建造的全自动蚀刻器/asher。它旨在为各种新兴技术（如纳米级制造）中使用的光刻胶和薄膜实现快速蚀刻。因此，它已成为全球研究实验室中备受追捧的工具。303由几个组件组成。它包括一个集成真空卡带站、自动化控制设备和清洁站以及一个直接写入光刻工具，这是系统的心脏。此工具使用x-y级在基板上移动相片掩模或光掩模,从而能够快速准确地蚀刻20 nm以下的特征尺寸。该单元配备了高端成像单元，可实现极其精确的图像对准，这在纳米制造中至关重要。该单元还装有掩模对准机，可确保在曝光前准确放置光掩模。集成到MATRIX 303中的不锈钢卡带站使基板支架能够快速轻松地装载到机器中，从而无需手动装卸晶片，实现快速蚀刻速率。自动控制工具使用户能够设置特定参数,例如蚀刻时间和压力,以及监控蚀刻过程的进度。此外，内置在303中的先进清洁资产确保了良好的蚀刻性能。两步清洗过程有助于消除蚀刻过程造成的残留，保护设备，防止基材污染。MATRIX 303是适用于高端研究实验室和中小型生产的高性能、可靠的工具。其先进的特点、坚固的构造和简单的操作，使其成为需要高精度和高速度蚀刻的用户的绝佳选择。