二手 MATRIX 403 #14205 待售

MATRIX 403
製造商
MATRIX
模型
403
ID: 14205
Etchers 200-240 Volts 50/60Hz 1 Phase Temperature controlled chuck Cassette loading Capable of 4" to 6" wafers Down Stream isotropic etcher for oxide, poly or nitride films ENI OEM 6 13.56 MHz RF generator BROOKS AUTOMATION 6100-36 handler ENI OEM-6M-11781 generator.
MATRIX 403 蚀刻器/asher是一种先进、多功能的干式蚀刻工具,专为先进的生产行业而设计。它具有许多独特的功能,例如高级软件和硬件工具,使操作员能够控制其生产需求并提供最高级别的效率。403是一种自动蚀刻器/asher,旨在提供干蚀刻加工和灰化。它具有0.8毫米热边界层保护的单室系统,允许均匀蚀刻和灰化温度高达1000 °C。这种先进的设计允许最大程度的蚀刻均匀性,使其成为多种基材中高度详细蚀刻图桉的理想选择,如SiO2、SiN、SiSiC等材料。MATRIX 403专为最大的多功能性而设计,内置软件和硬件工具以实现完全控制。软件允许复杂的蚀刻和灰化过程,如各向同性蚀刻、定向蚀刻和工艺优化。预定义的程序可以很容易地实现,以完全控制蚀刻和灰化参数。硬件组件(如腔室、源和目标)采用触摸屏和易于更换的组件进行设计,以最大限度地提高生产效率并降低污染风险。403的复杂界面和控制面板提供了完整、用户友好的体验。用户可以轻松地访问流程相关信息和参数,便于监控流程并快速调整设置。该系统还具有标准监控和反馈功能,能够快速高效地进行故障排除,优化流程时间并提高整体效率。为了最大程度地提高安全性,MATRIX 403提供了多种紧急关闭和通风选项,以及用于腔室回收的高压密封。蚀刻和灰化系统还提供灵活的调度和警报,允许自动操作和检测任何故障部件。403是任何生产地板的绝佳补充,适用于种类繁多的材料和基材。其先进的设计、安全功能、强大的工具和用户友好的界面使运营商能够以最高的效率和安全标准快速有效地满足其生产需求。
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