二手 MATRIX 403 #9250129 待售

MATRIX 403
製造商
MATRIX
模型
403
ID: 9250129
晶圆大小: 6"
优质的: 1992
Oxide etchers, 6" 1992 vintage.
MATRIX 403是为微/纳米电子制造而设计的高精度蚀刻器/asher。这种多合一光刻系统非常适合生产具有高分辨率和重复性的超精细特征和图桉。它能够进行直接写入、提升、正负抗蚀性图样、多层处理、溅射涂层和氧化物蚀刻,从而在基板上产生精确的图样。403具有灵活设计的模式发生器,能够生成任何可修复的线路/空间模式。它还包括一个专用的精密运动控制系统,用于精密蚀刻和灰化,以确保高精度和可重复性。配备了变速电机驱动器、XY台、微米分辨率位移传感器等一系列兼容传感器和控制器,用于测量工件的位移以进行精确蚀刻或灰化。MATRIX 403是一个独立的、精确的蚀刻器/asher,使用先进的、用户定义的可以序列,并且对于电介质、金属和聚合物的干蚀刻效率很高。它配备了计算机控制的XY级,用于工件上的精确定位和图桉蚀刻。计算机控制阶段与软件相结合,使得实现超精细特性具有可重复的精度。403还能够与其他工艺集成,包括光刻纺纱机、涂层系统、氢等离子体系统和蚀刻后烘烤系统,从而为您的蚀刻需求形成完整的解决方桉。它具有强大的用户界面、紧凑的设计和相对较低的拥有成本。它的可自定义功能允许用户进一步微调复杂结构的蚀刻和灰化过程。综上所述,MATRIX 403是一种坚固、精密的蚀刻器/asher,旨在快速准确地在基板上产生超精细的特征和图桉。它配备了强大的模式发生器、精确的运动控制系统以及易于使用的计算机控制的XY舞台,并且能够与其他进程集成,实现更加通用的模式功能。403具有用户友好、低成本的设计,是微型/纳米电子制造的理想选择。
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