二手 MATRIX Cheetah 200 #9400266 待售

MATRIX猎豹200是一款针对研究和工业环境中的高效、精密蚀刻/灰化应用而设计的蚀刻器/灰化器。其整体尺寸为510mm宽，690mm深，203mm高，设计紧凑。猎豹200的建造由可靠的非腐蚀性不锈钢室、手柄和外壳组成。隔热室盖由厚厚的激光切割铝结构组成，在高达1200 °C的温度下工作时提供外部强度和安全壳。蚀刻器/灰化器配备了专利气体输送洗涤设备，通过在气体到达腔室之前过滤气体中的超细颗粒来营造干净可靠的腔室气氛。还配备了先进的室温报警器，维护安全的工作环境。MATRIX猎豹200具有精密控制的蚀刻/灰烬高级蚀刻/灰烬工艺。它易于使用的运动控制参数设置提供了对蚀刻/灰化过程的精确控制。它在基板顶部和底部的最大蚀刻/灰化时间可达60分钟,温度剂量范围可达1200 °C。Matix猎豹200配备了触摸板控制界面。它允许访问蚀刻/ashing参数、何时停止和进程的总经过时间。它还控制用于在蚀刻/灰化过程中保护腔室大气的CO2反馈。腔室通过两个卤素石英灯加热，提供精确的温度和均匀性。温度可以1°C为增量调节,可通过嵌入式数字热电偶进行监控。它还配备了隔离冷却系统，向腔室提供冷却空气，以确保蚀刻/灰化工艺的标准和整体单元的可靠性。蚀刻器/asher还具有用于样品装卸的自动卡带机。它允许最多25个基板同时安装。样品从卡带工具装卸,无需手动操作。为确保所有流程都遵循最佳蚀刻/灰分协议,MATRIX Cheetah 200配备了经过验证和测试的预编程设置,以便每次蚀刻/灰分都能获得可靠和可重复的结果。集成的数据日志记录资产可以方便地进行跟踪,并能够存储设置和配方以供将来使用。使蚀刻器/asher以最小的清洁周期半自动和连续运行,因此它可以在下一次蚀刻/ashing作业时运行。猎豹200具有优异的长期过程稳定性和均匀性，导致一贯可靠的结果。