二手 MATRIX Jaguar 300MM #9220309 待售

MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher是专门为晶圆和图案化基材等大型基材的蚀刻和灰化而设计的最先进的蚀刻和灰化设备。该系统能够产生至少0.6 um的蚀刻,并在5英寸至300毫米大小的大型基板上提供均匀蚀刻的表面。该装置提供各种蚀刻化学物质，包括硝化、氢氟化、磷化、硫化等。捷豹300MM利用反应性离子蚀刻、电子回旋共振和等离子体蚀刻等先进蚀刻技术，使用户能够为最佳速度、质量和局部性量身定制蚀刻工艺。MATRIX Jaguar 300MM由不同的子系统组成,包括Cassette-Stage、Gas Box、Air and Pump Utilities、Chamber和Advanced Control Machine。Cassette-Stage允许用户快速准确地将大型基板放置在蚀刻室中进行处理，并由调平机构、盒式手柄和真空卡盘工具组成。Gas Box资产提供计量喷嘴，用于将蚀刻化学物质引入腔室，而各种阀门和控制器在对气体和蚀刻化学物质进行反应时提供精确的精度。该模型的Air and Pump Utilities提供惰性和非惰性大气进入腔室，由一个喷射冷却的涡轮分子粗加工泵、一个钛驱动的旋转泵以及其他几个部件组成。Chamber设备是针对蚀刻和灰化过程优化的定制设计环境，由电子回旋共振发生器、抗雷达和对准用途的静电卡盘和气体分布歧管组成。高级控制系统集成了所有子系统，为用户提供了蚀刻过程的实时数据采集，并允许优化过程参数。Jaguar 300MM Etcher/Asher具有出色的局部和过程控制能力,能够进行高通量蚀刻和灰化。该装置旨在提供出色的蚀刻轮廓和整个基板的均匀性，与其他蚀刻系统相比性能更好。Cassette-Stage、Gas Box、Advanced Control Machine等先进技术的融合，为用户提供了一个强大灵活的平台，以可靠准确地控制蚀刻和灰化过程。MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher的利用为用户提供了大型基板蚀刻和灰化的最先进工具。