二手 MATRIX System One 105 #9098100 待售
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ID: 9098100
晶圆大小: 4"-6"
Automatic photoresist stripper, 4"-6"
Microprocessor controlled
Single wafer
Single cassette
Independent control of pressure
RF Power
Temperature
Gas flow
Substrate position
Includes:
ENI OEM-6 RF water cooled generator: 600 W
Wafer processing environment
Electrode assembly
Multi-step (3 Steps and over etch) process program
Butterfly valve
Phase magnitude detector to provide real-time RF impedance matching control
(2) Mass Flow Controllers (MFCs): TG 5 SLPM, 300 SCCM
Closed-loop control of substrate temperature (Temperature range: 80°C to 250°C)
Pin movement: Up and down.
MATRIX Equipment One 105是一款高品质的蚀刻器/asher,提供先进的材料处理能力。这种先进的蚀刻器能够处理各种材料,如硅、玻璃、金属和合金。系统One 105包括一个精密电蚀刻站、一个用于等离子体蚀刻的旋转站和一个用于离子铣削的溅射站。它使用一个自动装卸单元,允许预先编程的线路设置和高度准确的结果。这台机器具有先进的灵活性,允许它在同一个循环中处理不同类型的材料。它还具有内置的故障保护工具,可避免损坏敏感部件和材料。该蚀刻器具有创新的加热资产,可确保材料被均匀加热到所需温度。这确保了最佳蚀刻结果,无论材料或温度范围如何。此外,蚀刻器还包括一个控制模型,用于监视和维护一致的蚀刻过程以获得最佳结果。它还允许多个蚀刻周期,并具有自动调谐控制功能,以提高精度和精度。在精度和耐用性方面,MATRIX Equipment One 105蚀刻器以合理的价格提供了最高水平的精确度和耐用性。离子铣削提供了非常精确的结果,等离子体蚀刻提供了改进的特征定义。这使得蚀刻器非常适合需要精确和精确的关键设备制造任务。蚀刻器还包括一个功能强大的可编程控制单元,允许用户访问详细的编程和控制级别。这允许精确和一致的蚀刻,无论蚀刻的材料和类型.该蚀刻器是专为高度专业化的加工任务而设计的,非常适合处理微加工部件。该装置既紧凑又坚固,非常适合在实验室或其他生产环境中使用。这使System One 105成为寻求易于使用、可靠、准确且经济实惠的蚀刻器的用户的理想选择。
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