二手 MATRIX System One 105 #9293401 待售
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ID: 9293401
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 1991
Asher, 4"-6"
Si and GaAs,
Square substrates, 4.5"
RF 100 - 500 V
Auto-tune
Maximum watts: 600 W, 13.56 MHz
Special chuck: 70 mm - 150 mm
Special chuck wafers: 50 mm
Adjustable cassette platform
TYLAN Butterfly valve
Capacitance manometer
Temperature control:
Wafer chuck
Closed loop
Resistive element heated
Perimeter
Draw pump ring grooved
Chuck: 150°C - 250°C, (+5°C)
Descum: 70°C -150°C, (+5°C)
At > 250 W
Plasma chamber: Side shooter gas inlet
Electrode design: Meshed electrodes
Clamped dual quartz baffle design
Base plate cooling
Throughput: >35 WPH
Process gases: O2 and N2 (MFC Optional)
Strip rate, 6"
Baked resist: 1.2µ
120°C > 1.2 µ/min at 250° C
Repeatability ±10%
Non-uniformity 1 Sigma: < 5%
Particulates added: <0.10 cm²
Size: >0.2 mm
Descum: +10%, 1 Sigma
Minimum vacuum pump speed: 32 CFM
Reliability:
Availability: > 95%
MTBF: > 450 Hours
MTBA: > 24 Hours
MTTR: < 4 hours
No wafer cooling station
1991 vintage.
MATRIX Equipment One 105是为金属精加工、硬质和软质材料、表面准备、标记、蚀刻和标签而设计的蚀刻器/asher。它作为一个精密机器，提供了广泛的应用。集成控制器使用B&R PLC2控件,可提供可靠、准确、快速的操作以及多种功能。这样可以确保蚀刻器/Asher运行平稳,几乎不需要维护。独立控制器操作设备本身,可以通过附带的PC接口进行监控。这样可以方便地对系统进行编程和设置,从而允许批处理和重复运行。该装置能够蚀刻/灰化所有厚度范围广泛的材料。它可以处理软和硬材料，如不锈钢、铝、黄铜、塑料、玻璃和其他复合材料。机器的水平工作面使用户能够处理尺寸不超过1000 mm x 800 mm的物料。横梁允许最多五个工具快速更换,并且机动化,以便在项目期间进行轻松调整。该单元具有一系列功能，使用户设置和操作变得简单。它具有板载内存自我诊断警报功能,可以提醒用户错误,使他们能够快速采取纠正措施。它还配备了安全卫士，确保正在加工的材料和操作员安全。为了安全起见,整个工具符合VDE/GS和DIN标准。该装置采用UV和IR二极管激光系统的组合，以高材料利用率实现高精度结果。紫外线激光源允许用户加工塑料，而红外激光资产则允许用户加工金属和玻璃。共有六个工作主管职位,可以同时进行快速处理。目标材料的多池图样简化了加工，实现了均匀的表面光洁度。该模型采用低维护设计构建,允许安全高效的操作,而最短的停机时间。MATRIX Equipment One是一款功能强大的蚀刻器/asher,可提供快速的周转时间和高质量的最终结果。这使其非常适合用于各种制造和工程应用,从而提供了方便、速度和准确性。
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