二手 MATRIX System One 106 #9098085 待售
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ID: 9098085
晶圆大小: 4"-6"
Automatic photoresist stripper, 4"-6"
Microprocessor-controlled
Single wafer, single cassette
Independent control of:
Pressure
RF Power
Temperature
Gas flow
Substrate position
Includes:
600W RF water cooled generator (ENI OEM-6)
Optically isolated wafer processing environment
Patented interleaved electrode assembly
Multi-step (3 Steps + over etch) process program
Butterfly valve for more precise pressure control
Phase magnitude detector to provide real-time RF impedance matching control
(2) Mass flow controllers (TG 5 SLPM, 300 SCCM)
Closed-loop control of substrate temperature
Temperature range: 80°C to 300°C
Pin movement (Up and down)
Center drawer chuck
Cooling station.
MATRIX Equipment One 106是洛克希德·马丁公司先进能源技术公司开发的全自动高性能蚀刻器/asher。它基于薄膜涂层系统常用的MATRIX-Y线性电机机构。该系统具有高精度和高速度，适用于从电介质到金属等多种材料的应用。该单元的设计目的是在整个基板上提供高分子均匀性的涂层厚度，并确保所有方向均匀的蚀刻/灰化增长率。在单元的中心是一个多轴单位的精密X-Y线性电动机。这些电动机在X-Y平面中以1微秒分辨率移动蚀刻头。蚀刻头放置在真空室中进行蚀刻和灰分处理。在蚀刻过程中，真空室可针对不同基板进行优化蚀刻速率调整。压力、温度、气体成分也可调节。温度可达1000 °C，压力可调节至最大200Pa。此外,Machine One 106还具有内置的、诊断驱动的自动化测试工具,用于确保对基板的最佳处理。此资产可确保蚀刻和灰化过程以最高精度进行。底物可以是硫属化物、石英样、钛升华、二氧化硅、氮化硅、铝等材料。MATRIX Model One 106是一种健壮的设备，可用于满足最苛刻的工业项目的需求。精度高，重复性高，精度高。系统提供的高工艺公差使其适用于原型设计、功能测试和产品制造。还采用先进的控制单元技术，保证了每个蚀刻层的高度均匀性。蚀刻器/asher高度可靠且易于维护。它的机器备份还有助于确保设备在任何环境中都保持操作能力。
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