二手 MATRIX System One 106E #9119151 待售

MATRIX System One 106E
ID: 9119151
晶圆大小: 6"
Stripper, 6" 2000 vintage.
MATRIX Equipment One 106E是一个蚀刻器/asher系统,旨在使用户能够蚀刻、开发和粉刷各种形状和大小的晶片和基板。这种健壮的设备提供了无与伦比的精度和准确性。机器有自动模式和手动模式,允许用户定制自己的蚀刻和开发过程,以达到最佳效果。工具一106E是半导体、介电和高级材料蚀刻的理想解决方桉。该资产是为湿蚀刻而设计的。它带有一个可定制的化学递送模型,允许用户溷合自己的解决方桉和调整流量和温度。设备一次最多可处理六种化学品,使用户可以根据他们正在使用的基材量身定制工艺。MATRIX System One还包括一个多位置可调晶圆载波,以增加便利。根据晶圆的大小和工艺,该单元可以从1个面板/树3.4小时到4个树/小时的速度进行蚀刻。它配备了独特的两相过程计时器,允许用户设定精确的蚀刻时间。MATRIX Machine One 106E还设计了Peltier热电冷却工具,以确保整个蚀刻过程中的温度准确。该资产具有先进的晶圆映射程序,允许用户监控其蚀刻过程的各个方面,从晶圆质量和温度到化学浓度等重要参数。高功率、电子驱动的等离子体源在最少的时间内提供高质量的蚀刻。灰化过程也极其快速一致。该型号还具有内置的安全功能,可自动关闭蚀刻电源以防止过度蚀刻。设备还配备了先进的远程诊断功能,允许用户直接从桌面启动远程诊断。这样可以确保用户能够监控系统性能并快速排除任何问题。第一单元106E提供无与伦比的性能和可靠性,使其成为各种行业应用程序的完美工具。
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