二手 MATRIX System One 302 #9201781 待售
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ID: 9201781
晶圆大小: 6"
Etchers, 6"
Electro-mechanical production system:
Nitride
Oxide
Polysilicon
Chemical reaction induced by a gas plasma
Etching main console module:
Process
Operator interface
Wafer transport
Card reader
Elevator
Microprocessor control
Etching power supply console:
RF Generator
DC Supply
AC Distribution
Gas distribution panel
Temperature / Pressure control
Physical specifications:
Main console Power supply Console overall
Width 25″ 25″ 25″
Depth 28″ 28″ 28″
Height 22″ 36″ 58″
Weight 100 lbs 310 lbs 410 lbs.
MATRIX Equipment One 302是一款高级蚀刻器/asher，设计用于半导体行业。它是一种全自动的高频溅射工具，能够生产高质量的薄膜涂层沉积物。302安装在独立或自动化的机器人系统上,由用户友好的图形用户界面（GUI）控制,允许灵活定制蚀刻/灰化过程的参数。系统1 302具有内部高频发生器（HFA）以产生有效蚀刻/灰化所需的电离和轰击。该装置能够向目标表面提供高达3KW的射频功率,并具有精确控制压力和温度的功能。电离等离子体密度是可调的，以及溅射产率，创造了一个高响应过程。302配备了监测和分析过程的先进工具。其中包括一个完全可编程的多通道分析器（MCA）和一个用于测量和分析蚀刻/灰化过程性能的高级阵列收集器（ACC）。该机器还提供安全的数据存储和高达5 GB的存档,从而能够高效地对生成的数据进行后处理。MATRIX Tool One 302专为半导体工业而设计,具有许多先进的特性,如高溅射率和对蚀刻/灰化工艺的精确控制。这种蚀刻器/灰化器能够生产高质量、一致的金属颗粒薄膜，并提供卓越的工艺控制和可靠性。302易于操作和维护,是要求苛刻的半导体生产环境的理想选择。
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