二手 MATTSON 165-91000-00 #293671335 待售

MATTSON 165-91000-00是一种先进的蚀刻或粉刷光刻设备。它有一个可调的气流系统来优化工艺条件以获得可重复的结果。蚀刻机利用水平环卡盘和浮动光洁板来减少地形。气体分配单元配有带可调孔的阀门二氧化硅管线，提供定向气流，为蚀刻剖面提供更高的重复性，以及边缘剖面的均匀性。该机还包括优质石英基板加热扩散炉，对可重复温度剖面进行精确温度控制，对基板进行低热冲击。电容端点传感工具集成到资产中，有手动和自动操作选项。该模型还可以与其他过程控制系统连接，如作业控制器和MES系统，以最大化过程控制和监控。在工艺能力方面,165-91000-00设计用于对几乎所有基材（包括硅、石英、陶瓷、铝和玻璃）进行精密蚀刻。此外，设备可以沉积和蚀刻金属，如金、铜、铬、钯等，用于高分辨率应用。该系统具有广泛的工艺范围，允许从3 μ m到18 μ m的蚀刻深度。它还具有一个宽广的工艺窗口，允许调整蚀刻速率，以获得各种应用程序的最佳蚀刻结果。MATTSON 165-91000-00还提供了出色的流程重复性和统计流程控制工具，如SPC图表。它还有一个板载流程软件包，内含配方、流程参数实时实时监控、流程趋势分析、统计流程控制以及流程数据存储。该单元由聚四氟乙烯和不锈钢构成，极耐用，耐腐蚀。所有玻璃和二氧化硅的连接都是密密麻麻的，机器有一条自清洁的气体管线。此外,该工具还具有高级安全功能以及文丘里加载和4英寸晶圆处理功能。总体而言,165-91000-00是一项先进的蚀刻/asher资产,可对几乎所有具有高分辨率的基板进行精确蚀刻。它提供了卓越的过程重复性和统计过程控制工具，具有先进的安全功能和4英寸晶圆处理。该模型由特氟龙和不锈钢构成，使其极耐用且耐腐蚀。气体分配设备提供定向气体流动，确保了重复蚀刻剖面和边缘剖面的均匀性。