二手 MATTSON Aspen II #293619551 待售

MATTSON Aspen II 蚀刻器/asher是一种尖端设备,用于铜、铝和其他金属蚀刻和灰化工艺。它旨在为许多行业带来好处,包括半导体封装、PCB和MEMS。它能够处理直径达8英寸的晶片，最大蚀刻/灰室大小为26 "x 13.5" x 10"。Aspen II配备了数字真空系统，提供对压力和温度的精确控制。这种数字压力管理使设备能够保持最佳工艺气氛，并具有广泛的化学特性。数字真空机还确保每个配方均匀的过程均匀性。MATTSON Aspen II还配备了可编程的端点功能，允许为每个配方设置预定义的操作参数，这样每次都可以进行精确的蚀刻/灰烬循环。这样可以确保无论操作员、批处理大小或工艺条件如何,都能获得可重复的结果。Aspen II的工艺室具有穿孔壁，提供了工艺气体和蚀刻化学物质的均匀分布，同时还实现了广泛的下游蚀刻速率。这种穿孔的墙面设计还增强了蚀刻器/粉碎器的清洁能力，从而在工艺周期之间形成了一个清洁室。MATTSON Aspen II具有多区域RF发生器,可结合可重复的过程烹饪时间和充足的功率来满足您的特定应用。Aspen II还具有先进的自我清除周期,可实现快速的过程后恢复和可重复的蚀刻/灰烬性能。除了蚀刻/灰分处理能力外，MATTSON Aspen II还能进行广泛的后处理操作，如电化学镀层、防腐蚀和涂层。Aspen II 蚀刻器/asher提供了一个强大可靠的处理平台，具有增强的过程控制和可重复性。它还提供了广泛的后处理选项,允许在单个工具中进行端到端或独立处理。