二手 MATTSON Aspen II #293633237 待售

MATTSON Aspen II是一款高性能的精密蚀刻机，设计用于生产和研究环境中的可靠操作。其先进的技术使其成为蚀刻速率控制、基材均匀性、细线纹蚀刻应用的理想选择。配备了快速而强大的10 kW RF电源和PZT换能器，Aspen II提供了出色的重复性、高分辨率特性和出色的选择性。它能够蚀刻硅、蓝宝石、石英和玻璃等多种材料。MATTSON Aspen II配备了数字4轴CNC控制器，可轻松确保准确、可重复的处理。该机配备了广泛的原位和异地工艺控制设备。这包括数字压力控制、原位氯气感应以及全自动浸入式预清洁和后清洁程序。这提供了出色的蚀刻精度和吞吐量,从而提高了产量,缩短了周期时间。Aspen II还具有先进的等离子体源和先进的射频匹配系统。这种组合旨在提供极好的可重复等离子体，最小的逆损失和维持最好的工艺条件。等离子体源利用专利的多剂量系统（MDS）。它能够提供均匀的辉光放电，可调谐以提供更高的沉积速率和提高蚀刻选择性。MATTSON Aspen II还支持广泛的蚀刻化学，包括氟基蚀刻、间接湿蚀刻和离子铣削。为了改进蚀刻结果，其工艺控制设备允许为每个加工的晶片设置优化的配方和蚀刻参数。它还能够用化学和物理两种方法清洗和剥离，例如超声波搅拌。Aspen II为蚀刻和灰化应用程序提供了全面的解决方桉。它提供了出色的重复性、高分辨率特征蚀刻和优化的吞吐量。其先进的过程控制和等离子体源设计保证了质量的结果与更少的维护和停机时间。