二手 MATTSON Aspen II #293775105 待售

MATTSON Aspen II是用于制造半导体器件和集成电路的先进蚀刻器/asher。设备配置性强,能够支持蚀刻、灰化和其他相关过程。该系统的核心由一个4轴运动控制单元组成，其中包括一个带有运动平台的高速级，以确保晶片在整个工作区域上的精确运动。此外，一台经过精细校准的线性编码器解析器位于运动平台上，提供晶圆表面的详细视图，以确保精确的图桉。Aspen II具有最先进的蚀刻和灰化室,用于处理。它利用气体输送工具有针对性地、精确地输送所需的蚀刻或灰化气体。它还具有高精度晶圆定位资产，确保精确对齐。它还包含一个高质量的精确度和稳定性较高的光束扫描仪，以及一个用于确定晶圆位置的多通道电容传感器。MATTSON Aspen II具有强大的用户界面,设计为直观易用。有经验和新手用户将欣赏易用性和全面的控制选项。丰富的控制界面允许对过程参数的调整，如温度、时间、气流、压力等，在过程中容易调整。Aspen II可以与各种蚀刻和灰分食谱一起使用，这些食谱存储在模型的库中，可以快速访问。这允许用户快速选择、加载和修改配方,以及访问配方注释、参数和日志。简而言之,MATTSON Aspen II是一款高级蚀刻器/asher,旨在提供精确且可重复的处理。它结合了精密的运动控制、高品质的蚀刻和ashing腔室以及详细的控制特性，使其非常适合集成电路和半导体器件的制造。