二手 MATTSON Aspen II #293775108 待售

MATTSON Aspen II是一种精密湿蚀刻设备，设计用于金属和材料的蚀刻，如硅、砷、氮化硅、GaAsP和其他类似的III-V类材料。它采用了专利的反应性气柜腔室，提供了最佳的蚀刻工艺。该系统产生的圆形、正方形和矩形特征在广泛的尺寸范围内具有均匀性和精确度。在规格上，Aspen II是一种紧凑的蚀刻装置，有两种尺寸，最多16个反应堆。它包括两台功能广泛的机动机器人，一台先进的蚀刻气体输送机，以及用于精确控制流体流量和压力的双换能器。它具有0至115 PSI的高工作压力范围，适合蚀刻厚度达6微米。它还包括一个高灵敏度的光学监控工具，以确保蚀刻过程中的精度。MATTSON Aspen II旨在提供低NH4OH浓度的高精度蚀刻,并减少非目标材料的蚀刻。它具有先进的算法，可以在各种材料中获得最高的蚀刻均匀性和精度。此外，紧凑的设计和多种配置允许同时蚀刻多达16个晶圆。该资产还具有较低的粒子排放率、从-20到+50C的温度范围以及确保精确在线监测的自动过程测试模型。Aspen II是用于微机加工及类似应用研究和生产的理想设备。其稳健的设计、创新的控制算法和各种配置使其成为适合所有材料精密蚀刻的系统。它的多功能性、准确性和可靠性使其成为蚀刻过程的宝贵工具。