二手 MATTSON Aspen II #293830478 待售

MATTSON Aspen II
ID: 293830478
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Inductively Coupled Plasma (ICP) system, 8" 1997 vintage.
MATTSON Aspen II是一款先进的蚀刻和灰化设备,旨在提供卓越的性能和质量效果。该系统采用了蚀刻和灰化技术方面的所有最新创新技术,旨在显着减少各种过程所涉及的时间,从而实现卓越的效果。Aspen II由基于傅立叶变换的热成像单元提供动力,该单元记录热事件,允许高速蚀刻和灰化。这台机器还配备了内置的射频电源和高频发电机,能够精确控制温度、压力和时间,以实现最佳蚀刻和灰化性能。MATTSON Aspen II先进的样品架允许快速、方便地装卸样品,从而在整个过程中实现更大的控制和可靠性。样品支架保持精确的温度和压力,以确保精确的蚀刻和灰化.自动识别功能易于识别可蚀刻和灰化兼容的金属,并根据金属类型调整工艺参数,以实现一致和可靠的性能。该工具还具有专有的高级蚀刻应用程序模块(AEAM)。此模块允许根据材料类型对工艺参数进行精确的微调,监控工艺周期和参数,以及日志蚀刻和灰化操作。此模块还允许用户为重复应用程序编程和保存配方。Aspen II易于操作和维护,具有用户友好、直观的设计,允许用户选择所需的工艺参数,并快速设置定制的蚀刻和灰化应用程序。内置的流程管理器使用户能够通过资产的LCD触摸屏轻松监控和控制操作。MATTSON Aspen II为众多应用程序提供了强大的蚀刻和灰化功能。它可以处理包括不锈钢、铝、硅等在内的各种金属,在广泛的应用中效果优异。Aspen II具有先进的功能和强大的设计,是寻求卓越性能、优质效果和快速处理时间的专业人员的理想蚀刻和灰化模型。
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