二手 MATTSON Aspen II #9155758 待售

MATTSON Aspen II是一款高级蚀刻器/asher，设计用于多种工艺，从基材加工到最终模式形成。它能够在五板非远程设备上蚀刻和灰化直径达300 mm的晶片。该系统采用全自动批式盒式磁带装载机和对齐器，无需手动装填和对齐。为了更方便，它可以连接到一个行业标准的机器人装载机。Aspen II独特的设计使其能够以最小的工艺变化和卓越的产品统一性提供高吞吐量。其双区工艺室提供对工艺参数的独立控制，使单元实现更高的工艺速率。该机还配备了可调节的晶圆温度控制工具，有助于最大限度地减少基板温度波动造成的缺陷。MATTSON Aspen II除了工艺时间快外，还提供精确的等离子体蚀刻和高品质的图桉。该资产针对蚀刻和灰化应用进行了优化,并使用高级配方来确保高质量的蚀刻和灰化过程。这还得益于可选的可变尺寸开口（用于最小尺寸特征）和高分辨率网格（用于精确图桉）。该模型还具有若干安全功能，以保护操作员免受潜在危害。这包括用于检测打开或损坏的盒式磁带的红外传感器以及用于加载锁和手动加载系统的自动禁用机制。Aspen II是一款多用途设备,可提供强大的性能、精确的控制和精确的阵列设计,可用于各种蚀刻和灰化过程。它简单、用户友好的设计允许方便的设置和操作，使其成为研发和生产的理想选择。