二手 MATTSON Aspen II #9246107 待售
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ID: 9246107
晶圆大小: 8"
ICP Asher, 8"
Dual chamber system
Upgraded gas panel
Quartz ware
Chamber side and back:
Front end:
26" With separate operator interface
4-Color light tower
TFT Design monitor
Load locks:
Single L/L
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Load lock seal: Lip seal (Non bellow)
Platform: 4 x 25 Slot cassette
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station without circular groove pattern
Transfer robot:
Main robot: MATTSON 3-Axis robot
Robot arm: 4-Adjustable paddles standard
Slit door
Process module configuration:
Electrode configuration: Electrical heater with backing plate
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-Ring type: Fluorosilicone
Temperature controller: WATLOW EZ Zone
Grids / Guide rings: Extended guide rings
Pressure controller:
VAT Valve Pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF/ MW System:
RF System: Top RF, 13.56 MHz
RF Generators
RF Top match: TRAZER 914-92003-00 (TRAZAR AMU 10D-2)
Gas system:
Chamber peripherals and gas line option: (4) Gas configuration back and side chambers
Gas 1: O2 - 5000 sccm
Gas 2: CF4 - 100 sccm
Gas 3: N2 - 1000 sccm
Gas 4: N2/H2 (4%) - 1000 sccm
MFC 1 to 4: BROOKS GF Series
Endpoint detection system: MATTSON Endpoint system with fixed filters
Cable length RF / Signal / Power: 19ft.
MATTSON Aspen II是一个多功能蚀刻器/asher系统,旨在提供精确蚀刻/ashing功能。Aspen II提供了一系列高级功能,使其成为各种精密蚀刻/灰化工艺的理想解决方桉。MATTSON Aspen II的主要功能包括：坚固耐用的构建,可提供耐用性和一致的性能、高达0.1 um的单色分辨率、带有全彩色触摸屏界面的过程控制,以及用于存储过程配置和配方的一系列板载内存选项。这样就形成了一个高度可靠和用户友好的蚀刻器/asher。Aspen II专为易于使用而设计,并配备了多种功能以确保准确、可重复的性能。其高度敏感的Z轴高度感应接触确保蚀刻零件的尖端均匀准确地接触基板。这就产生了极好的蚀刻质量，这是非常可靠和一贯可重复。此外，它还配备了"表面跟踪"技术，可以检测蚀刻表面高度的变化，使MATTSON Aspen II能够相应地自动调整蚀刻或灰度的深度。这样每次都会产生一致甚至是结果。Aspen II配备了一系列元件，以确保在金属零件上蚀刻时的精确且可重复的结果。其中包括集成的9位自动索引工具更换器、基板的自动对准、选择性阳极氧化的阳极氧化配方、用于基板边缘检测的多接触塞子以及用于过程控制的屏幕参数。所有这些特性确保了每次均匀准确的精加工，无论使用的是什么金属。MATTSON Aspen II旨在轻松集成到自动化流程中。它的高度稳定、低维护5000V/4000W直流电源确保了可重复和可靠的性能,并且可以集成到几乎任何自动化过程中。此外,它还具有一系列专有软件和固件,旨在提高流程控制和监控的效率、准确性和可重复性。对于任何寻求可靠、可重复和易于使用的蚀刻器/asher解决方桉的人来说,Aspen II都是理想的解决方桉。其先进的功能以及高度可靠和一致的性能使其成为各种精密蚀刻/灰化应用的理想解决方桉。MATTSON Aspen II的一系列基于软件和硬件的功能确保每次都有出色的蚀刻效果,其强大的构建和自动化过程控制功能使其成为寻求可靠结果和简化操作的工业用户的理想解决方桉。
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