二手 MATTSON Aspen II #9401067 待售
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ID: 9401067
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Dryer, 8"
ICP Chamber
Chamber Process: Ashing
GEM and SESC Interface
Cool down chamber
Cassette stage
Transfer robot
AC Power box
Signal tower
(2) ADVANCED ENERGY CESAR1312 RF Generators
DC and AC Power supply
Chuck type: Standard
MILLIPORE Manometor
Chamber Pump
Gate valve
Thermocuple
Heater
Pressure switch
Board
(3) Control boxes
Power tap
Hard disk
Throttle valve
EMO
Pipes
Cable
LCD Monitor
Control panel
PC Included
Missing parts:
Robot blade
Robot extention geneva
Robot extention gear
Robot rotation genva
Robot rotation gear
Robot motor
Side slit door
Shattle pressure gauge
Shattle chamber slit door
Shattle motor
Power supply: 208 V
1994 vintage.
MATTSON Aspen II是一款最先进的电化学蚀刻/灰化设备，设计用于半导体行业的广泛应用。该系统具有先进的电子设备，可精确控制蚀刻和灰化过程，从而使宽幅基板上的层更平坦、更厚。它配备了先进的无喷嘴沐浴装置，对剥离过程提供精确精确的控制，允许可预测和可重复的结果。此外,集成的自清洗机通过自动消除污染堆积,使刀具保持峰值性能运行。从创新的无喷嘴解决方桉到快速蚀刻功能,该资产设计为可靠高效。Aspen II能够在475°F的最高温度下每小时处理多达50个晶片，并且可以用于多种材料，包括硅、铝、钨和钛酸酯。集成软件界面允许用户优化设置和调整模型设置，以便高效运行。此外，由于其高效的真空泵和气流传感器，它提供了一种环保的解决方桉，限制了溶剂的排放。这有助于确保蚀刻和灰化工艺符合环境和安全法规。MATTSON Aspen II的创新设计还促进了维护,使您可以轻松访问所有内部组件。此外，设备的控制器管理着从源头到底物的蚀刻过程，提供了精确和可重复的沉积和去除速率。此外，精密气体输送系统确保了精密均匀的气流，从而优化了蚀刻和灰化工艺，有助于减少工艺变化并产生更好的效果。Aspen II是一款功能强大、可靠的电化学蚀刻器/asher单元。它为蚀刻和灰化过程提供精确和可重复的控制，从而在广泛的基板上形成更平坦、更厚的层。此外,该机器先进的电子设备确保了可靠高效的性能,而其集成的自清洁工具和气流传感器确保遵守环境和安全法规。此外，其创新的设计允许方便的维护和精确的气体输送，导致优越的结果与最小的工艺变化。
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