二手 MATTSON Aspen III Lite #9390391 待售

MATTSON Aspen III Lite是一款集成半导体晶圆器件处理的多功能单波形蚀刻器/asher。它是一个紧凑、经济高效的解决方桉，旨在满足研发（R&D）半导体器件制造和研究的需要。其单波形技术的精确度能够在很小的占地面积内产生精确的蚀刻和灰化特征，提供出色的分辨率和准确性。AspenIII Lite采用稳定、均匀的紫外线光源，能够产生50nm的最小线宽和精确的深度控制。它能够支撑包括铬、多晶硅和氮化物在内的多种面膜类型。该设备配备了亚微米、石英基、非接触式、无反射显示器，用于精确的过程数据采集和监测。除了存储在机器中以供以后分析外,还可以实时准确提取数据。MATTSON Aspen III Lite配备了机电元件，有助于在整个热处理范围内减少漂移并保持精度。这包括高温准分子灯电源、闭环温度控制系统和电容驱动蚀刻单元。它有铝转移到加工室，使得它适合晶圆尺寸从3"到8"。Aspen III Lite支持多种蚀刻/灰化工艺，包括VLE（真空电平蚀刻）、iSLE（原位局部蚀刻）、Wet Ash、PECVD（等离子增强化学气相沉积）、ECR（电子回旋共振）。它配备了大面积晶圆处理能力，集成到定制设计的腔室中。它最多可同时支持五（5）个过程，最多可在内存中存储五（5）个配方配方。通过使用警报和联锁装置在发生故障时关闭操作,确保过程的所有阶段的安全。此外，MATTSON Aspen III Lite还为VME总线和驾驶员控制之间的信号线路保护了电流隔离变压器免受外部干扰。这样可以确保机载通信和控制系统保持完好无损,并在理想状态下运行。该机易于使用直观的操作员界面操作，并为安装、应用和维护提供全面的支持服务。MATTSON还提供了用于数据日志记录和晶圆可追踪性的软件工具,使用户可以完全控制其蚀刻/灰化过程。