二手 MATTSON Aspen III Nexion #9286405 待售

MATTSON Aspen III Nexion是一款可靠且全方位的高效蚀刻器/asher。这种用途广泛的工具专为各种工艺、材料和基材而设计,使其成为各种应用的理想选择。其紧凑的设计和简单、用户友好的控制使得它易于使用和简单的设置和操作。Aspen III Nexion使用电化学工艺蚀刻和清洁基材。它有一个图形用户界面，允许用户选择一个程序，并在需要时轻松修改设置进行流程调整。参数控制监视器向用户提供反馈,从而可以精确控制蚀刻过程。根据工艺和基板的不同，这种蚀刻器既可以进行轻蚀刻，也可以进行深蚀刻，还可以进行厚膜去除。该机组具有可变射频发电机，输出功率范围从150瓦到2000瓦不等。它具有高温性能，可用于高温材料和介电层。它可以容纳6英寸乘12英寸大小的基板，使其适合大多数应用。Asher的墙壁由不锈钢材料制成，在恶劣的环境中提供卓越的耐用性。MATTSON Aspen III Nexion旨在提供最大的工艺性能和效率。该系统配有内置的粒子探测器和高速传感器，使用户能够更准确地监控整个蚀刻过程。高真空室可确保工艺气体不会从蚀刻环境中逸出，从而提高安全性并防止污染物释放。Aspen III Nexion是各种应用的理想选择。它可靠，易于使用，并提供精确一致的结果。其高温能力、可变射频发生器、粒子检测器使其适合一系列材料、基材和工艺。由于这些原因，它是可靠高效蚀刻的首选。