二手 MATTSON Aspen III #9095966 待售

MATTSON Aspen III蚀刻/灰化设备是一种先进的精密蚀刻/灰化系统，使用高温、高压的反应气体溷合物形成完美精密的蚀刻和灰化。Aspen III使用三种与样品对齐的加热加压反应物气体喷射器，形成超高温压微环境。随着高温和压力的溷合和反应，化学物质形成催化反应，蚀刻样品。由于先进的工艺监测装置，样品的蚀刻和灰化可以得到精确的控制和微调。内置软件监控过程的温度、压力和其他指标，以确保准确性和质量。该机还配有一个5轴移动平台，便于样品对准，以及一个激光连接口，用于精确的样品和基板位置对准。先进的精密蚀刻和灰化技术与MATTSON Aspen III的精密监控工具相结合，使得材料和工艺得以优化。其结果是一个高质量的、控制的过程，最小的浪费和产量。AspenIII为用户提供了对蚀刻和灰化过程的绝对控制。此资产非常适合精细复杂的蚀刻/灰化过程,适用于各种行业。