二手 MATTSON Aspen #293818701 待售

ID: 293818701
晶圆大小: 8"
Strip etcher, 8".
MATTSON Aspen是一个先进的蚀刻器/asher,它提供薄膜中细小图案的蚀刻或粉刷。蚀刻器/asher专为细线、接触和紧密公差应用而设计,非常适合工程、医疗和微电子应用。Aspen提供了薄膜蚀刻和灰化工艺的精确度和准确性。蚀刻器/asher可随时提供非常均匀且可重复的蚀刻或灰化轮廓。该设备采用加热的边缘流螺旋设计,以快速蚀刻或灰烬样品,以准确的客户规格。加热气体直接在样品上的流动可以被精细调节,以控制蚀刻轮廓的形状和图样的精度。蚀刻器/asher还能够在工作之间快速更改以实现最高的效率。一个特别设计的快速释放卡带允许最大效率的样品装卸。此外,蚀刻器/asher还配备了自动化编程功能和高级软件工具,以确保优化的作业性能。MATTSON Aspen是手动蚀刻或灰化工艺的高效、准确的替代产品。高效的蚀刻性能和高度精确的图案制作功能相结合,使此蚀刻器/蚀刻器非常适合广泛的应用。该设备提供了一种在各种薄膜配置中精确蚀刻或灰化的低成本方法。快速转换时间和先进的蚀刻工具使Aspen非常适合大批量生产线。
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