二手 MATTSON Aspen #9092961 待售

MATTSON Aspen
ID: 9092961
晶圆大小: 6"
Triode systems, 6".
MATTSON Aspen是业界领先的蚀刻商/ashers之一。它是一个紧凑的蚀刻/asher设备,设计用于中高批量生产。Aspen是一个完全自动化的系统,无人值守,并提供精确的深度控制蚀刻材料。它还为多个作业提供了非常快速和高效的处理。该机配备了由高扭矩交流伺服电动机提供动力的主轴传动装置,以获得可靠和准确的蚀刻/灰化结果。其最大主轴转速为20,000 rpm,最大深度精度为0.001 mm。MATTSON Aspen还利用变速控制轴进行精确的深度控制。Aspen有一个CNC控制单元,它能够将任意数量的蚀刻/ashing操作编程到单个作业中。它还具有独特的"快速激光切割"功能,可快速高速去除粗细材料。这大大提高了蚀刻/灰化工艺的生产率。MATTSON Aspen有一个非常用户友好的、基于Windows的软件界面,用于编程任何蚀刻/ashing操作。该计算机还具有一个基于以太网的以太网/IP通信端口,用于监视刀具状态和进行诊断。此外,Aspen还具有用于与基于PC的数据日志应用程序通信的RS 232串行端口。MATTSON Aspen 蚀刻/ashing资产是由重型工业级部件构成的,旨在实现极高的可靠性。操作成本低,适用于大、小零件加工。总体而言,Aspen是蚀刻/灰化需求的绝佳选择。
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