二手 MATTSON Paradigm SI #9231982 待售

MATTSON Paradigm SI是一种蚀刻器/asher，用于厚薄膜电路处理。该设备为执行各种类型的蚀刻和灰化工艺提供了一个通用平台。该系统具有一个"浮动"的工艺室，从而消除了对真空源的需求，从而形成了一个清洁和可重复的工艺环境。两部分设计由一个旋转的六室蚀刻和灰化站以及一个加工站组成，通过凸起的墙壁与蚀刻/灰烬室的真空环境隔离。Paradigm SI的六个蚀刻和灰烬室采用可定制的射频和微波源设计，允许用户在一个批次中设置多个进程。腔室还包括用于优化过程的数字电源控制和用于执行端点监视（EPM）的过程控制。MATTSON Paradigm SI的七个处理工作站使用户能够在一次运行中沉积多达七个金属层。工艺站配置为溅射沉积、电沉积和无电沉积。除了蚀刻和灰烬之外,Paradigm SI还提供各种过程监视和控制功能,包括用于精确过程控制的高级软件包。这样就可以将配方写入设备并实时跟踪结果,从而使用户无需手动调整控制参数即可轻松修改和编程流程。MATTSON Paradigm SI还能够利用先进的喷嘴组件执行可重复的过程,该组件由三轴喷嘴支架、双轴刀刃处理程序和可调节的陶瓷流动杯组成。这样就可以对厚薄膜层进行一致的均匀蚀刻和处理，从而产生可靠的高产电路处理。Paradigm SI独特的内置清洁机制有助于在每个进程运行过程中维护工艺室、喷嘴和附件。该机器为加工室的内部和外部以及喷嘴组件提供自动清洗功能。这为高质量的电路处理提供了高效一致的环境，并最大限度地降低了交叉污染的风险。总体而言,MATTSON Paradigm SI是一个高度高级的蚀刻器/asher工具,具有许多高级特性和功能。其精确和可重复的过程使用户能够实现一致可靠和高质量的电路处理。其多功能性和先进的监控能力也使其成为现代电路制造和过程控制的宝贵工具。