二手 MATTSON Paradigm SI #9236728 待售

MATTSON Paradigm SI是一款为先进半导体生产而设计的蚀刻/asher设备。它是一个特别配置的系统，旨在满足高度先进的半导体生产和封装操作的要求。Paradigm SI通过独特的蚀刻和asher配置组合,提供业界领先的功能、灵活性和成本节约。该装置建立在一个强大的蚀刻平台上，具有高速腐蚀工艺优化和可靠的沉积沉积技术。它配备了多种精密工艺控制，包括O2等离子体蚀刻能力、陶瓷面膜技术，以及额外的高频配方优化以提高生产率。它的模块化结构还使用户能够更轻松地集成现成的组件以升级机器性能。MATTSON Paradigm SI的ashing/沉积功能是一流的。这包括高精度纵横比控制、可调源束角度、高清通道等特点。它还包括用于创建精细阵列特征的精确二进制抖动,以及针对特定设备特性进行优化的高级沉积分析。其先进的晶圆处理能力包含晶圆处理的最新进展，以提供最高的吞吐量。这包括使用完全集成的高分辨率视觉工具,该工具具有晶圆、介电和抗性涂层自动化功能。它还包括一个热纳米打印设置，旨在提高吞吐量和尽量减少工艺变化。Paradigm SI的用户界面包括维护专业和操作站支持,提供真正的资产控制、自动化和性能分析功能。其中包括详细的图形用户界面屏幕、强大的流程确认功能、易于配置的模型等功能。此外，设备还配备了实时SPC合规性监测，使操作员随时了解关键工艺参数。总体而言,MATTSON Paradigm SI蚀刻器和asher系统提供半导体生产和封装操作,具有业界领先的生产能力。其先进的蚀刻和asher系统,加上通用的过程控制、强大的晶圆处理以及易于使用的用户界面,使其成为执行高级过程的理想单元。