二手 MATTSON Paradigm SI #9236729 待售

MATTSON Paradigm SI是一种蚀刻器/asher，用于各种工业和研究应用。它提供了多种过程控制技术，允许对蚀刻和灰化过程进行微调控制。它利用激光束引导蚀刻/灰化过程，利用基于微处理器的控制器促进过程控制，利用高速采样设备跟踪过程信息，如温度、压力和电流。该技术主要用于半导体和MEMS行业，用于导线、通路、轨道和内存设备的精确阵列。范式SI可以支持多种蚀刻和灰化材料，如金属、硅和塑料。该系统还提供了许多高级选项,如屏蔽和减速控制。MATTSON Paradigm SI采用先进的蚀刻和灰化技术，如定向蚀刻和退火。这些技术旨在确保高保真度图样和更一致、更可靠的蚀刻/灰化结果。定向蚀刻和退火包括控制蚀刻在基板上的蚀刻/灰化材料的数量，方法是将激光束聚焦在特定位置，同时加热基板。这样可以确保一致的蚀刻深度和均匀的蚀刻特性。该单元还采用了三维蚀刻室。该腔室允许处理使用常规蚀刻技术无法实现的长而复杂的形状。3D蚀刻室还增加了尺寸精度，因为它有助于保持蚀刻图桉的尺寸均匀性。该机器还提供编程蚀刻和灰化功能。在编程模式下，Paradigm SI可以基于一组预定义的指令进行蚀刻和处理。这样就可以对组件进行复杂、快速的路由,以及精确蚀刻特定的图案。它还提供了一个"变异"功能，程序员可以在不停止该过程的情况下实时修改蚀刻过程。总体而言,MATTSON Paradigm SI是一种功能强大的蚀刻和灰化工具,可提供高级工艺控制功能、精密蚀刻/灰化以及高度可靠和一致的资产。它可用于多种行业和研究应用，是微调蚀刻和灰化的可靠且经济实惠的选择。