二手 MATTSON Paradigm SI #9241278 待售

MATTSON Paradigm SI是一种先进的蚀刻器/asher,旨在为材料研究提供高效、精确和过程控制的蚀刻和/或灰化解决方桉。它是一种高效、基于机器人的批处理设备，利用创新的闭环控制系统，有选择地蚀刻或冲洗单层或多层材料制成的晶片。Paradigm SI具有先进的多室工艺功能,对过程参数（包括气流、温度和等离子体功率）提供出色的时空控制。主室设有一个集成的射频顶装源，每个源都有独立和隔离的电源。每个顶部装载机模块都包含一个聚焦的闭环准直抽取单元，该单元将等离子体均匀地分布在加工室内的晶片上。该腔室还包含一个简化的升降机/卡带机，方便晶圆装卸。除了顶端装载机外，MATTSON Paradigm SI还具有负载/卸载提升机制，以实现精确的气体输送和快速的晶圆放置。这种顶装工具允许在加工过程中根据需要调整腔室压力，最大限度地减少腔室污染的风险，并维持晶圆蚀刻/灰化过程的全面控制。腔室还包含动态热控制，允许晶圆温度针对腔室内的所有条件精确设置，包括超压。这确保了一致、高效的蚀刻/灰分过程,并最大限度地减少了管理高温暴露所花费的时间。除了其先进的多室工艺功能外，Paradigm SI还提供了一些额外的蚀刻和灰化功能，包括能够轻松选择单个或多个晶片的处理以及多步骤处理。它还提供多种高容量耗材，包括不同的耗材晶片类型，专门为承受工艺温度和射频环境而设计。为了增加控制，资产还具有多种晶圆监控协议，使用户能够实时观察晶圆结果，以及自动监控和控制蚀刻和灰化过程的关键参数，如压力、流量、功率和温度。这种先进的过程监控功能使MATTSON Paradigm SI成为一种高度可靠和高效的模型,使用户能够快速高效地创建高质量的蚀刻/灰化材料。